性能特点
适合精细线路制作,减成法可以达到30/30um线路制作
相比mSAP工艺,费用低,无需增加设备投资,直接现有设备添加使用
相比mSAP工艺,流程简单,和现有流程兼容,无需变更制作流程
配方成熟,制程稳定,精细线路良率高
处理效果
护岸剂添加前EF=3.8 护岸剂添加后EF=9.0
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