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SmartPlasma设备类型(RTR真空垂直式)

蚀刻护岸剂

产品详情

性能特点


  • 适合精细线路制作,减成法可以达到30/30um线路制作

  • 相比mSAP工艺,费用低,无需增加设备投资,直接现有设备添加使用

  • 相比mSAP工艺,流程简单,和现有流程兼容,无需变更制作流程

  • 配方成熟,制程稳定,精细线路良率高


处理效果



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                                                  护岸剂添加前EF=3.8                                              护岸剂添加后EF=9.0

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