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SmartPlasma设备类型(RTR真空垂直式)

闪蚀液安定剂

产品详情

性能特点


  • 适用于半加成工艺的精细线路制作

  • 蚀铜速率(3-5um/min)稳定可控

  • 向下蚀刻速率是侧向蚀刻速率两倍,减小Undercut,保证最佳闪蚀效果

  • 蚀刻12um,仍能保证线路保持良好形状


处理效果


处理形貌

2610.png

线条侧面形貌

1.png

MSAP工艺中50μm线路闪蚀前后的线条侧面轮廓。侧面微蚀单边约7.8μm,向下微蚀厚度12.3μm,向下的速度是侧面微蚀速度约1.6倍。

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